MEMS DC響應加速度傳感器
-MEMS硅電容原理
-±15g~±50g量程
-抗10,000g沖擊
-單軸伺服閉環(huán)控制
-高線性度
-體積小,重量輕
應用:
模態(tài)分析、振動測量、飛行測量、彈道測量
振動臺標準傳感器、振動伺服控制、過載測量
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